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2003/07/13

SEM

SEM=走査型電子顕微鏡のこと。

今日は休日出勤をした。
朝、普通どおりに起きて、出勤する。休日の朝の出勤路はさすがにすいている。
普段の朝は遠回りでも渋滞の無い道を行くのだが、今日はいつも渋滞している道を行った。
雨上がりの晴れた道沿いはもう夏の顔をしている。向日葵が鮮やかな黄色で輝いていた。

今日休日出勤した目的は半導体チップのSEM観察及び撮影。
SEMは半導体の仕事には無くてはならない分析装置の一つだろう。
冒頭にも書いたように、SEMとは顕微鏡のことだ。Scanning Electron Microscopeの頭文字をとっている。
小さいものを何倍にも拡大して見る装置。
学校とかに置いてある光学式顕微鏡はレンズで拡大する為、倍率が数百倍~数千倍程度だが
半導体の世界では対象となるサンプルがとても小さく、さらに大きく拡大する必要があるため、電気(電子)の力を借りる。
使用倍率は数百万倍まで拡大可能となる。今日、使用した倍率は主に15万倍。
半導体の配線ルール(電気が通る線の細さ)が1ミクロン以下というはざらである。
1ミクロンは千分の1ミリなので、これを15万倍すると150ミリくらいに拡大して見える、ということだ。
(実際のモニター上では3cmくらい)
直径300mmのシリコンWafer(薄さ1mmの円盤)を測定可能な大きさに割って観察する。
サンプルの数は4つだったが撮影する場所の数が多く、丸一日ずーっとSEMと格闘していた。

会社の帰り、夜の神社でお祭りをやっているようだった。浴衣姿がちらほら見えた。
もう夏なんだなー。

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